Beschreibung
Unsere industriellen Ausheizzelte (Bakeout-Zelte) mit Heißluftheizer bieten eine hocheffiziente, maßgeschneiderte Lösung die speziell dafür entwickelt wurden, komplexe Vakuumsysteme (UHV/XHV) direkt am Einsatzort effizient auszuheizen. Sie dienen dazu, adsorbierte Gase (insbesondere Wasser) von den Innenwänden der Vakuumkammer zu lösen, um Drücke im Ultrahochvakuum-Bereich zu erreichen.
Vorteile
- Exzellente thermische Homogenität: Garantiert eine vollkommen gleichmäßige Wärmeverteilung über die gesamte Oberfläche des Zielobjekts.
- Höchste Geometrieflexibilität: Individuelle Maßfertigung (Custom Design) exakt nach Kunden- und Systemvorgaben, selbst bei stark verwinkelten oder raumgreifenden Aufbauten.
- Prozessoptimierte Werkstoffe: Verwendung von zertifizierten, hitzebeständigen Industrietextilien und Hochleistungs-Dämmstoffen zur Minimierung von Wärmeverlusten.
- Maximale Usability: Schneller, unkomplizierter Auf- und Abbau für flexible Einsatzzyklen und minimale Rüstzeiten.
- Reinraum-Kompatibilität: Optional in Ausführungen erhältlich, die den strengen Partikelemissionsanforderungen in Reinraumumgebungen entsprechen.
Technische Daten
| Temperaturbereich |
+50°C bis +300°C (in Kombination mit unserem Heizlüfter) |
| Materialbasis |
Hitzebeständige Textilgewebe (beschichtet / unbeschichtet) |
| Isolation |
Integrierte, hocheffiziente Thermo-Dämmmaterialien |
| Bauform / Abmessungen |
100% kundenspezifische Maßanfertigung nach CAD-Daten oder Aufmaß |
Typische Anwendungsbereiche
- Vakuumtechnik & UHV-Systeme: Effizientes Ausheizen (Bakeout) von Vakuumkammern und Rohrleitungssystemen zur Erzielung von Ultrahochvakuum.
- Halbleiterindustrie: Thermische Konditionierung von Prozessanlagen und empfindlichen Substratträgern.
- Forschung & Labortechnik: Flexibler Versuchsaufbau für temperaturgeführte Messungen und Materialtests.
- Anlagen- und Vorrichtungsbau: Spannungsarmes Kühlen oder kontrolliertes Erwärmen von Baugruppen direkt vor Ort.
Optionale Erweiterungen & Systemzubehör
- Abgestimmte Heizlüfter- und Regelsysteme für automatisierte Temperaturprofile.
- Integrierte Temperaturüberwachung mittels Temperatursensoren direkt am zu beheizenden Objekt.
